半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中PID光離子氣體傳感器的應(yīng)用

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隨著信息時(shí)代的推進(jìn)，半導(dǎo)體行業(yè)正在迅猛發(fā)展，為社會(huì)帶來(lái)了顯著的經(jīng)濟(jì)效益和就業(yè)機(jī)會(huì)。然而，這一行業(yè)的快速發(fā)展也伴隨著對(duì)大氣的污染問(wèn)題。由于半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)操作室的清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類廢氣，這使得半導(dǎo)體行業(yè)廢氣具有排放量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

3 v. ?! w  m) \% v8 f) V1 E, S+ P這些廢氣主要包括有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。其中，有機(jī)廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿廢氣則包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的來(lái)源主要是在芯片或線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過(guò)程中產(chǎn)生的。
  f+ ^5 D" F: G7 B1 q$ ^. y這些廢氣不僅對(duì)環(huán)境造成污染，而且對(duì)人們的健康也構(gòu)成威脅。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，元器件組裝焊接、電路板等器件清洗等表面處理過(guò)程中使用的化學(xué)藥劑，如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物，會(huì)揮發(fā)成為污染氣體，如果這些氣體超標(biāo)排放，可能會(huì)導(dǎo)致人群慢性或急性中毒。
$ @+ e/ H4 }, ~, X+ u7 X1 M" [為應(yīng)對(duì)這一問(wèn)題，我們需要對(duì)廢氣進(jìn)行實(shí)時(shí)精準(zhǔn)的檢測(cè)。一種解決方案是采用集成廢氣檢測(cè)系統(tǒng)，它可以實(shí)時(shí)采集和檢測(cè)廢氣的濃度等參數(shù)，一旦發(fā)現(xiàn)超標(biāo)排放，可以快速預(yù)警。此外，結(jié)合網(wǎng)格化管理，可以實(shí)現(xiàn)企業(yè)廢氣檢測(cè)與監(jiān)管的高效聯(lián)動(dòng)。這種系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、涂裝流水線、生物制藥、化工企業(yè)廢氣處理等領(lǐng)域。其監(jiān)測(cè)項(xiàng)目主要包括非甲烷總烴監(jiān)測(cè)、砷烷監(jiān)測(cè)、酸霧、硫化物、NOX、顆粒物監(jiān)測(cè)、氨氣監(jiān)測(cè)等。
在檢測(cè)原理方面，主要有PID光離子檢測(cè)方法和電化學(xué)檢測(cè)方法兩種。PID光離子氣體傳感器采用光離子電離氣體原理進(jìn)行氣體檢測(cè)，適用于混合氣體中揮發(fā)性有機(jī)物總含量的測(cè)定。而電化學(xué)傳感器則是通過(guò)與被測(cè)氣體發(fā)生反應(yīng)并產(chǎn)生與氣體濃度成正比的電信號(hào)來(lái)進(jìn)行工作。
7 Q  m/ [  N* C$ M3 G; P9 I& t在設(shè)備選型方面，對(duì)于工藝排口的有機(jī)廢氣排口(包括VOC治理排口)，推薦使用PID在線監(jiān)測(cè)設(shè)備；對(duì)于無(wú)機(jī)廢氣排口，建議使用煙氣在線監(jiān)測(cè)設(shè)備；而對(duì)于非工藝排口，如呼吸閥、實(shí)驗(yàn)室排放口、儲(chǔ)罐呼吸孔等，則可選用電化學(xué)傳感器監(jiān)測(cè)設(shè)備。
6 O. J0 z4 b8 B  `; k( f# u工采網(wǎng)代理的英國(guó)Alphasense光離子傳感器PID和電化學(xué)氣體傳感器是針對(duì)半導(dǎo)體制造業(yè)有毒廢氣監(jiān)測(cè)應(yīng)用的專業(yè)級(jí)傳感器產(chǎn)品，傳感器具有靈敏度高，選擇性好，穩(wěn)定性好，濃度輸出線性好等優(yōu)點(diǎn)，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定持續(xù)監(jiān)測(cè)，可大大降低半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測(cè)成本，實(shí)現(xiàn)大范圍安裝應(yīng)用，為半導(dǎo)體制造業(yè)毒氣監(jiān)測(cè)提供了切實(shí)可行的安全生產(chǎn)監(jiān)測(cè)解決方案。
Alphasense光離子傳感器PID是針對(duì)揮發(fā)性有機(jī)化合物的檢測(cè)和測(cè)量而設(shè)計(jì)的一款小型氣體傳感器，它適用于制造業(yè)、加工業(yè)這類典型的揮發(fā)性有機(jī)化合物高危場(chǎng)所以及環(huán)保監(jiān)測(cè)。
! z. d( P" Q7 Y+ S6 E傳感器采用PID檢測(cè)技術(shù)對(duì)氣體環(huán)境中的VOCs濃度進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)結(jié)果更準(zhǔn)確。傳感器量程選擇多，高靈敏度，使用壽命更長(zhǎng)，且體積小巧，便于與各類氣體測(cè)量模組與擴(kuò)展板集成，在氣體檢測(cè)儀制作設(shè)計(jì)方面有較大的使用空間。
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8 Y2 X9 [  l, G, N- b: r% k# C在執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)方面，應(yīng)遵循一系列國(guó)家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。這些標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了爆炸性氣體環(huán)境電氣設(shè)備的要求、危險(xiǎn)場(chǎng)所電氣安裝規(guī)范、有毒氣體檢測(cè)報(bào)警設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)、作業(yè)場(chǎng)所環(huán)境氣體檢測(cè)報(bào)警儀通用技術(shù)要求等多個(gè)方面。此外，還應(yīng)遵循大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)和固定污染源排放煙氣連續(xù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)技術(shù)要求及檢測(cè)方法等規(guī)定。
' i! d& B1 E# r; r5 l0 N9 e6 K  O1 d+ A總的來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理是一個(gè)復(fù)雜而重要的議題。通過(guò)采用先進(jìn)的檢測(cè)技術(shù)和設(shè)備，以及嚴(yán)格遵守相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定，我們可以有效減少?gòu)U氣對(duì)環(huán)境和健康的負(fù)面影響，推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。


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