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引言( t& u! i& ]. Z9 E% x! M
半導體行業(yè)不斷發(fā)展,推動技術(shù)邊界,以滿足對更快、更高效、更強大電子設備的持續(xù)增長需求。這一領(lǐng)域的關(guān)鍵創(chuàng)新之一是先進半導體封裝。本文簡介2.5D和3D封裝技術(shù)的發(fā)展、優(yōu)勢和挑戰(zhàn),以及在各種應用中的影響[1]。
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半導體封裝的演變
' {/ \) A+ A. n5 f半導體封裝技術(shù)已從最初的1D PCB水平發(fā)展到今天的晶圓級3D混合鍵合封裝。這一進步實現(xiàn)了單位數(shù)微米的互連間距,能夠以高能效達到超過1000 GB/s的帶寬。
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四個關(guān)鍵參數(shù)塑造了先進半導體封裝的發(fā)展:功率:通過創(chuàng)新封裝技術(shù)提高功率效率。性能:通過縮短互連間距增加輸入/輸出(I/O)點數(shù),提高帶寬并減少通信長度。面積:高性能計算芯片需要更大的封裝面積,而3D集成則需要更小的z軸尺寸。成本:通過使用替代的更經(jīng)濟材料或提高制造設備效率,持續(xù)降低封裝成本。
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2.5D封裝技術(shù)! P$ O2 z+ L9 M: \2 h1 t
2.5D封裝技術(shù)涉及使用中間層連接多個芯片。根據(jù)中間層材料的選擇,2.5D封裝分為三種主要類型:
8 U; _! O, P5 t4 Z+ f/ i9 p1. 硅基中間層:7 W8 L9 \- D; l: ]: U
兩種選擇:硅中間層(全被動硅晶圓)和硅橋(扇出式模塑化合物中的局部硅橋或帶腔基板)。優(yōu)勢:最精細的布線特征,適用于高性能計算集成。挑戰(zhàn):材料和制造成本較高,封裝面積限制。未來趨勢:增加使用局部硅橋以解決面積限制和成本問題。
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2. 有機基中間層:1 Y! `* @4 m c ^+ R
使用扇出式模塑化合物而非有機基板。優(yōu)勢:介電常數(shù)低于硅(較低的RC延遲),更具成本效益。挑戰(zhàn):難以達到與硅基封裝相同水平的互連特征縮減。
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3. 玻璃基中間層:& G# V3 m+ Y2 e+ Z- L a
優(yōu)勢:可調(diào)熱膨脹系數(shù)(CTE),高尺寸穩(wěn)定性,光滑平整的表面。布線特征有潛力與硅媲美。挑戰(zhàn):生態(tài)系統(tǒng)不成熟,目前缺乏大規(guī)模量產(chǎn)能力。# W# G; r, G R9 z7 `
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3D封裝技術(shù)
6 {3 x1 x0 V8 i. f3 u* ^; Y. x3D封裝技術(shù)專注于芯片的垂直堆疊,主要有兩種方法:0 d! q9 D; H8 {; `% S1 t/ q u
1. 微凸點技術(shù):: |. a( v1 Z1 L3 B# ~* u/ g
基于熱壓焊接(TCB)工藝。技術(shù)成熟,應用于多種產(chǎn)品。持續(xù)努力縮小凸點間距。挑戰(zhàn):較小焊球中金屬間化合物(IMCs)形成增加,潛在的焊球橋接問題,與銅相比電阻率較高。0 `* _, Y2 F- J4 {. D
) b3 S, q- O4 y) H/ R+ W2. 混合鍵合:: a/ Y6 e. h. b# z8 r/ O
通過結(jié)合介電材料(SiO2)和嵌入金屬(Cu)創(chuàng)建永久互連。實現(xiàn)低于10微米(通常為個位數(shù)μm)的間距。優(yōu)勢:擴展I/O,增加帶寬,增強3D垂直堆疊,提高功率效率,減少寄生效應和熱阻。挑戰(zhàn):制造復雜性和較高成本。1 I8 T) L' }5 }" o( {
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應用和市場影響
8 ?+ T, H- P# u: Z! V) L% j- N先進半導體封裝技術(shù)在多個關(guān)鍵市場中找到應用:- e( y* r1 x# F( | h( ^6 [8 G) }% H
1. 人工智能和數(shù)據(jù)中心:
+ i6 O; R- C/ t9 b V推動對高性能計算解決方案的需求。需要能夠處理增加的功率和性能需求的封裝技術(shù)。) m5 s7 I5 G- t; `
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2. 5G網(wǎng)絡:5 u- X& T) J D! F. _, n
先進封裝對5G無線電和網(wǎng)絡基礎(chǔ)設施至關(guān)重要。實現(xiàn)更高頻率和增加帶寬。) L9 w9 g& K9 c4 ~& ?. Q
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3. 自動駕駛汽車:* } f" B8 l/ T& ?( g, d1 p* q
需要先進封裝用于傳感器、處理器和通信系統(tǒng)。強調(diào)在惡劣環(huán)境中的可靠性和性能。
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& q6 M* N3 D7 s! Z- W4 ?3 W4. 消費電子:
" Y) {: P) A9 g& k! P智能手機、平板電腦、智能手表和AR/VR設備受益于更小的尺寸和更高的性能。先進封裝實現(xiàn)在緊湊設計中集成多種功能。
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. O6 Z4 N9 u1 G/ h! w' h# S未來展望
" U4 ?& K8 }: l& G% B- `( @* t先進半導體封裝行業(yè)將迎來顯著增長和創(chuàng)新。需要關(guān)注的主要趨勢包括:
) n7 \2 A: D4 {( f7 y5 a5 v互連間距持續(xù)縮小,特別是混合鍵合技術(shù)。開發(fā)新材料和工藝以解決熱管理和功率效率挑戰(zhàn)。增加采用基于chiplet的設計和異構(gòu)集成。玻璃基中間層技術(shù)的成熟和潛在的廣泛采用。制造工藝的進步,以降低成本和提高良率。9 F3 u0 {9 \2 D! ~2 I" n
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隨著對更強大、更高效電子設備需求的持續(xù)增長,先進半導體封裝將在實現(xiàn)下一代技術(shù)方面發(fā)揮關(guān)鍵作用。從人工智能和5G到自動駕駛汽車及更多領(lǐng)域,這些封裝創(chuàng)新將成為日益互聯(lián)和智能世界的核心。
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參考文獻
$ R5 U+ N' Y9 p! a5 v- S[1] IDTechEx, "Advanced Semiconductor Packaging 2024-2034: Forecasts, Technologies, Applications," IDTechEx, Jan. 11, 2024. [Online]. Available: https://www.azonano.com/news.aspx?newsID=40634.
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4 K/ W4 b# @5 `4 Q: g- t( M2 {轉(zhuǎn)載請注明出處,請勿修改內(nèi)容和刪除作者信息!
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深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導體芯片設計自動化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設計和仿真軟件,提供成熟的設計解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機電系統(tǒng)、超透鏡的設計與仿真。我們提供特色工藝的半導體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務,廣泛服務于光通訊、光計算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動特色工藝半導體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務。
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