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Nanophotonics | 半導(dǎo)體芯光纖:非線性光電子技術(shù)的新平臺(tái)

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引言半導(dǎo)體芯光纖正在成為非線性光電子應(yīng)用的新平臺(tái)。通過將半導(dǎo)體的緊密光束限制和高非線性折射率與光纖的靈活性和穩(wěn)健性相結(jié)合,這些混合結(jié)構(gòu)為寬波長范圍內(nèi)的非線性光學(xué)處理開辟了新的可能性。本文將概述半導(dǎo)體芯光纖的制造、表征和應(yīng)用,重點(diǎn)關(guān)注非線性光電子技術(shù)的應(yīng)用。
8 `! y7 _& A: A& T4 B( z
: o8 l- n, V' X+ d. {0 f制造方法
) X7 c+ E3 X$ R9 A7 s% X' f2 Y制造半導(dǎo)體芯光纖的主要方法是熔芯拉絲技術(shù)(MCD)。在這個(gè)過程中,將半導(dǎo)體材料放置在玻璃管預(yù)制件內(nèi),然后使用傳統(tǒng)的光纖拉絲塔加熱并拉成光纖。當(dāng)預(yù)制件被加熱時(shí),半導(dǎo)體芯熔化,而玻璃包層變得粘稠,使兩種材料能夠被共同拉制成光纖幾何結(jié)構(gòu)。* d" b0 G& o% ?. T' b, U2 I

2 X' k. v5 C" U( a圖1:制造半導(dǎo)體芯光纖的熔芯拉絲方法示意圖。4 X$ {$ s8 F6 Y% w9 P0 b1 a* L# B& Q

; |+ n- F$ v; R8 HMCD技術(shù)允許大規(guī)模生產(chǎn)長度的半導(dǎo)體芯光纖。然而,高拉絲溫度可能導(dǎo)致一些挑戰(zhàn),包括包層材料向芯擴(kuò)散和形成多晶芯。為解決這些問題,開發(fā)了各種后處理技術(shù)。+ l1 }0 ]0 o* {: V+ q1 w( H/ T

* F6 a- y/ v- @7 `+ z) l1 A后處理技術(shù)使用兩種關(guān)鍵的后處理方法來改善已拉制半導(dǎo)體芯光纖的質(zhì)量并調(diào)整其性能:
* E! k! P( o$ a$ [/ g7 K( _激光處理:使用聚焦激光束局部加熱、熔化和重結(jié)晶半導(dǎo)體芯。這可以改善結(jié)晶度,減少缺陷,并允許對芯的性能進(jìn)行空間變化的修改。
# Y. s# a2 |. Z' H' f8 H錐化:局部加熱并拉伸光纖以減小其直徑。這允許精確控制芯的尺寸,并可以顯著改變光學(xué)性能。
' J2 z/ ~1 a# e- G$ V[/ol]
! q, J: r& |$ a+ X! c這些后處理技術(shù)對于減少傳輸損耗和調(diào)整半導(dǎo)體芯光纖的色散性能以用于非線性應(yīng)用非常重要。
& x9 z+ H) @0 y
3 Q. L, U# a% q 5 {2 @/ c+ g2 _1 o$ D
圖2:后處理技術(shù)示意圖:(左)激光處理和(右)半導(dǎo)體芯光纖的錐化。+ p3 F8 G( |" G% @& ]% @7 N
6 o5 O, z9 p  S& P
這些后處理技術(shù)對于減少傳輸損耗和調(diào)整半導(dǎo)體芯光纖的色散性能以用于非線性應(yīng)用非常重要。
! L  E- r- |3 X& G" Y4 E5 U9 x2 b6 Y, ?/ ~; Y
光學(xué)表征半導(dǎo)體芯光纖的光學(xué)性能強(qiáng)烈依賴于芯材料、尺寸和處理。硅芯光纖已經(jīng)被廣泛研究,通過仔細(xì)的錐化處理,在電信波長下實(shí)現(xiàn)了低至0.8 dB/cm的損耗。
6 }+ _4 ~- f. G! S) g$ o. E
1 _$ q' g& X& L- \1 \% ]8 h通過控制芯直徑可以調(diào)整色散性能。圖3顯示了硅芯光纖的群速度色散和有效模場面積如何隨芯尺寸變化。" w, `& e+ l6 l5 B! I
6 s, y: t/ X3 K% e$ F
圖3:硅芯光纖的群速度色散(GVD)和有效模場面積(Aeff)隨芯直徑的變化。5 [! H: S8 h0 q/ x5 r( \, b1 L

$ h8 q4 C  \* I2 T4 y% I非線性光學(xué)應(yīng)用半導(dǎo)體芯光纖的高非線性和可調(diào)色散使其適用于各種非線性光學(xué)應(yīng)用:
6 S6 ]4 F6 L3 V1 k& F' `* i, m四波混頻(FWM):在硅芯光纖中已經(jīng)演示了FWM用于參量放大和波長轉(zhuǎn)換。使用僅0.63 mW平均泵浦功率在電信波段實(shí)現(xiàn)了9 dB的凈參量增益。* x, T( V* x* g* M
拉曼散射:在硅芯光纖中觀察到了受激拉曼散射,使用2 μm泵浦在中紅外區(qū)域?qū)崿F(xiàn)了高達(dá)3.7 dB的增益。
3 S- ~7 [7 Y$ d: I. S0 @超連續(xù)譜生成:在錐化的硅芯光纖中,使用3 μm泵浦生成了跨度從1.6到5.3 μm的寬廣超連續(xù)譜。
0 b1 l: Q8 H: X% P$ n# D" o二次諧波生成:雖然大多數(shù)工作集中在硅上,但ZnSe芯光纖已被用于演示二次諧波生成,用于電信信號的倍頻。) Y8 ]$ Z& Y) m/ g7 ?7 J1 p( R
[/ol]* [, R' S+ |  h* k
' {6 s; P# O. J0 n5 d
圖4:半導(dǎo)體芯光纖中演示的非線性應(yīng)用示例:(a) 四波混頻,(b) 拉曼散射,(c) 超連續(xù)譜生成,和 (d) 二次諧波生成。! e3 b: S4 M) j1 k' P$ |3 l

! O2 X$ |1 A2 }7 {# h未來展望
) d& G9 _! v$ w/ e在開發(fā)用于非線性光電子技術(shù)的半導(dǎo)體芯光纖方面取得了重大進(jìn)展,但仍有幾個(gè)未來發(fā)展的領(lǐng)域:
  • 新材料:超越硅,擴(kuò)展到其他半導(dǎo)體如GaAs或ZnSe可能實(shí)現(xiàn)新功能,特別是對于二階非線性效應(yīng)。
  • 改進(jìn)制造:進(jìn)一步減少損耗并提高結(jié)晶質(zhì)量將增強(qiáng)非線性應(yīng)用的性能。
  • 集成:開發(fā)與標(biāo)準(zhǔn)光纖的穩(wěn)健耦合方法對于半導(dǎo)體芯光纖器件的實(shí)際部署非常必要。2 d3 w5 k# q. w: O5 |0 v
    [/ol]9 C3 }' F" O0 A0 v% k" }
    & |. t0 {' c0 q5 J" j, h8 R+ O( i( m
    圖5:半導(dǎo)體芯光纖與標(biāo)準(zhǔn)單模光纖(SMF)集成的概念,用于實(shí)際器件實(shí)現(xiàn)。
    2 C" q9 S: {7 H  `( c: Z
    ) C# k2 Y7 c1 W# K- w7 y7 ?5 v結(jié)論
    - I: R) k5 N- n/ R/ w+ q* X: p半導(dǎo)體芯光纖代表了值得期待的新平臺(tái),結(jié)合了半導(dǎo)體的高非線性和光纖的靈活性。通過制造和后處理技術(shù)的進(jìn)步,這些光纖正在成為一項(xiàng)可行的技術(shù),用于跨越近紅外到中紅外的非線性光電子應(yīng)用。隨著制造方法的改進(jìn)和新材料的探索,半導(dǎo)體芯光纖有望實(shí)現(xiàn)新型非線性光學(xué)器件和系統(tǒng),彌合傳統(tǒng)光纖和光電子集成線路之間的差距。* D  J  M  `" J9 {; j/ v

    % c9 H* {2 l0 L參考文獻(xiàn)6 j$ U, G# r6 z7 Q# g1 _( t
    [1] M. Huang, J. Ballato, and A. C. Peacock, "Semiconductor core fibres: a scalable platform for nonlinear photonics," npj Nanophotonics, vol. 1, no. 21, pp. 1-12, 2024, doi: 10.1038/s44310-024-00026-5.' @7 ~( |6 E( O6 E7 x

    ! O9 f* O+ z; i3 S- END -) e. q2 \, i' m- X# G: B: N9 S

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    : T; v2 B1 Z* w歡迎轉(zhuǎn)載( \5 ?5 q5 ^4 B0 ~' J+ p( J
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    轉(zhuǎn)載請注明出處,請勿修改內(nèi)容和刪除作者信息!
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    深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設(shè)計(jì)和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計(jì)解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計(jì)與仿真。我們提供特色工藝的半導(dǎo)體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務(wù),廣泛服務(wù)于光通訊、光計(jì)算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動(dòng)特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務(wù)。0 i5 [% @/ t8 S

    8 T' c/ w: I! [' g, Q: lhttp://www.latitudeda.com/' x, @( x/ j" ?
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