從微納米到百米測量，中圖儀器勇于創(chuàng)新智能精密測量檢測技術

智能檢測有兩大優(yōu)勢：一是更智能、更精細、更高效；二是人力成本更低。生產(chǎn)線智能化將是制造業(yè)轉型升級的重要發(fā)展趨勢，智能檢測技術也將廣泛應用于工業(yè)自動化、航天、電子等行業(yè)。

2023年2月23日，工業(yè)和信息化部、國家發(fā)展和改革委員會等七個部門聯(lián)合發(fā)布《智能檢測裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃(2023-2025年)》中提到，“智能檢測裝備作為智能制造的核心裝備，是“工業(yè)六基”的重要組成和產(chǎn)業(yè)基礎高級化的重要領域，對支撐制造強國、質(zhì)量強國和數(shù)字中國建設具有重要意義�！贬槍ξ覈�智能檢測裝備產(chǎn)業(yè)仍存在技術基礎薄弱、創(chuàng)新能力不強、高端供給不足等問題，中圖儀器堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎，集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊，勇于創(chuàng)新，著力突破從微納米到百米測量的核心技術，堅持高質(zhì)量出品，增強高端供給，打造質(zhì)量強國。

納米級精密測量儀器

VT6000共聚焦顯微鏡

用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學檢測儀器。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光干涉儀

用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的光學檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

百米級精密測量儀器

GTS激光跟蹤儀

主要用于百米大尺度空間三維坐標的精密測量，集激光干涉測距技術、光電檢測技術、精密機械技術、計算機及控制技術、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體，在大尺度空間測量工業(yè)科學儀器中具有高精度和重要性，是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。激光跟蹤儀可用于尺寸測量、安裝、定位、校正和逆向工程等應用，是功能強大的計量檢測工具。廣泛應用在各種大尺度空間精密測量領域，如在航空航天領域對飛機零部件及裝配精度的測量；在機床行業(yè)中對機床平面度、直線度、圓柱度等的測量；在汽車制造中對車型的在線測量；在高端制造中對運動機器人位置的精確標定。此外，激光跟蹤儀還可以廣泛應用到造船、軌道交通、核電等先進制造各個領域。

Hybrid系列復合式閃測儀

是一種先進的全自動影像測量儀，基于大理石主體機臺和精密伺服控制系統(tǒng)，采用電動變倍鏡頭和大視場雙遠心鏡頭的混合架構，充分發(fā)揮光學電動變倍鏡頭的高精度優(yōu)勢和大視場雙遠心鏡頭的效率優(yōu)勢，能實現(xiàn)精度和效率的優(yōu)化組合測量。

Novator系列全自動影像儀

將傳統(tǒng)影像測量與激光測量掃描技術相結合，能實現(xiàn)2.5D和3D復合測量。還支持頻閃照明和飛拍功能，可進行高速測量，大幅提升測量效率；具有可獨立升降和可更換RGB光源，可適應更多復雜工件表面。創(chuàng)新支持多種測量新特性、新功能。

Mars Classic三坐標測量機

移動橋式的三坐標測量機結構特點是開敞性好，視野開闊，上下零件方便，運動速度快，精度高。配備高精度的導軌、測頭和控制系統(tǒng)，并結合計算機程序來自動控制檢測流程，從而計算輸出測量結果，支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉臺等，能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質(zhì)或復雜零件進行光學掃描測量�？捎糜跈C械制造、汽車工業(yè)、電子工業(yè)、航空航天工業(yè)以及計量檢測等領域，是現(xiàn)代工業(yè)檢測和質(zhì)量控制的重要檢測設備。

WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

可以在一個測量系統(tǒng)中自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、微納三維形貌。使用光譜共焦技術測量晶圓厚度、TTV、BOW、 WARP等參數(shù)，同時生成Mapping圖；采用白光干涉測量技術對Wafer表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像，顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖，高效分析表面的2D、3D參數(shù)�？蓮V泛應用于Wafer制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)。

有圖晶圓關鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)

是一款集成高精度平面尺寸檢測和亞納米級表面3D形貌測量的光學檢測儀器，同時滿足大范圍多區(qū)域的高精度全自動檢測，優(yōu)異的重復性及效率有效減少人為誤差及人員投入�？蓮V泛應用于芯片、半導體制造及封裝工藝檢測、精密配件、光學加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，能夠對芯片Z向實現(xiàn)微納尺度的3D掃描和重建，精確測量表面的高度輪廓尺寸；全自動上下料平臺，配置掃描槍，高效實現(xiàn)產(chǎn)線全自動化生產(chǎn)。

4、強化人才培養(yǎng)

中圖儀器攜手深圳職業(yè)技術學院，共同培養(yǎng)集成電路創(chuàng)新型技術技能人才。雙方就校企聯(lián)合開發(fā)、人才培養(yǎng)、實訓基地等方面進行了深入的交流并達成初步合作共識，2023年2月20-24日，第一批精英實訓班圓滿結課。

中圖儀器堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎，擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊。歷經(jīng)20年的技術積累和發(fā)展實踐，研發(fā)出了基礎計量儀器、常規(guī)尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。

未來，中圖儀器仍將繼續(xù)專注于精密測量檢測技術的發(fā)展，自強不息、知難而上、勇于創(chuàng)新，為中國制造技術的快速發(fā)展貢獻力量！