露點傳感器在半導體廠監(jiān)控氮氣供應系統(tǒng)中的應用

pc愛生活

氣體在工業(yè)應用十分廣泛，如化工、鋼鐵、半導體、電子、醫(yī)療、石油、食品等，其種類繁多，可分為一般特殊氣體和工業(yè)氣體。若為使用在半導體產(chǎn)業(yè)為例，氮氣在半導體制程中是相當重要的氣體之一，且使用量最大，因其特性不導電且降溫速度快，可在制程中對設備產(chǎn)生保護作用，還可使用在危險氣體與空氣作隔離或低溫測試。
而氣體供應系統(tǒng)的氮氣，要求更是嚴格，需達到高潔凈、高純度及高度干燥等條件；其中為控制干燥程度，在氣體供應輸送系統(tǒng)的過程，會設置露點傳感器來監(jiān)控氣體是否足夠低濕。
實際應用:
/ S/ W# t7 R3 z/ i! i! {5 w: g半導體廠的氮氣供應模式取決于用氣規(guī)模、氮氣生產(chǎn)工廠距離、工廠是零星分布或是群聚設置使用不同的供氣模式，常見如桶槽供應模式、鋼瓶供應模式、管道供應模式、用氣端供應模式等。不論任一種供應模式，都必須由輸送系統(tǒng)之氮氣儲存容器，如高壓鋼瓶，或吸附式的氣體儲存鋼瓶，再透過管路將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥箱，進行流量之控制與進氣的混合比例控制，再供應給制程后端機器使用。

3 E5 w* m! M! u' F在半導體產(chǎn)業(yè)使用的氮氣大多會直接接觸電子零件，純度需達到ppm、ppb級，潔凈度則為塵埃粒徑控制小于0.1 … 0.05m，干燥度達到壓力露點-40℃ … -70℃。
8 F2 \1 J1 @' Z& e" }- `1 D2 @7 H為達到氮氣使用的標準，一般會安裝露點傳感器在氣體傳送至冷凍干燥機前端，也可安裝在烘烤凈晶圓體前，如此一來可以更精準的監(jiān)控氮氣運輸過程的露點值保持在極低濕的程度，以提高制程中的良率。
德國GFS 露點傳感器 NP330-G 測量氣體內(nèi)的微量濕度，絕對露點傳感器，在-80°C DP至+20℃ DP范圍內(nèi)測量氣體內(nèi)的微量濕度。 精度 ±2°Cdp。濕度傳感器 NP330-G 用于在線測量空氣中和 腐蝕性氣體中的絕對水含量（露點）  ，開關輸出可編程，用于警報信號  ，針對露點鏡面進行校準  ，結構堅固可靠， 防護等級 IP65  ，可提供OEM代加工  ，可根據(jù)要求提供防爆設計 ，設計應用于化學污染和結露等苛刻環(huán)境環(huán)境使用，相當適合用于工業(yè)制程氣體的供應或壓縮干燥機效能監(jiān)控。

以半導體行業(yè)應用而言，氮氣的純度、潔凈度需控制在一定的范圍內(nèi)，也因會直接接觸精細的加工制程，改善微量濕氣更是大大影響制程中產(chǎn)品的良率，經(jīng)行業(yè)調(diào)查， 25%以上的工業(yè)不良品，全是因無有效控制低濕環(huán)境所造成的損害，可見氣體供應輸送系統(tǒng)規(guī)畫中，搭配露點傳感器做監(jiān)控是不可忽視重要環(huán)節(jié)；將監(jiān)測與制程結合，更可隨時監(jiān)視反應物及產(chǎn)物比例、不完全燃燒率等、幫助工廠節(jié)省成本，也能達到較佳之實用性與安全性。
+ C/ S( O/ L2 U7 I; v: y$ n4 n
0 O/ f: q7 t3 Q4 a